لوحات جرافيت مشقوقة لتوجيه التدفق | ألواح جرافيت مشقوقة عالية النقاء مصممة خصيصًا لمعدات تفريغ الأمراض القلبية الوعائية لأشباه الموصلات - NHD Carbon

▍ وصف المنتج

ألواح الجرافيت المشقوقة هي ركائز جرافيت مخصصة تم تطويرها بشكل مستقل بواسطة NHD Carbon Industries لمعدات التفريغ لترسيب البخار الكيميائي لأشباه الموصلات (CVD). على عكس ألواح الجرافيت المسطحة العادية، يخضع سطح هذه الألواح لطحن CNC خماسي المحاور بدقة لإنشاء قنوات تدفق متوازية موحدة، وأخاديد متقاربة، ومسارات تدفق شبه منحرفة. يضمن هذا التصميم تشتتًا موحدًا لغازات التفاعل داخل الحجرة ونقلًا مستقرًا للحرارة، ومعالجة نقاط الألم في الصناعة مثل التوزيع غير المتساوي لتدفق الغاز والانحرافات الكبيرة في سماكة طلاء الرقاقة، والأكسدة والتآكل المحلي السريع الناتج عن درجات الحرارة العالية. لوحة الجرافيت المحززة هذه مصنوعة من مادة خام الجرافيت عالية النقاء المشتقة من فحم الكوك Daqing. ويخضع لجولات متعددة من التشريب الفراغي وتنقية الجرافيت بدرجة حرارة عالية عند 2800 درجة مئوية، مما يؤدي إلى انخفاض محتوى الرماد إلى 0.03%، ولا يحتوي على شوائب معدنية يمكن أن تلوث رقائق السيليكون. وهو متوافق مع كل من معدات الأمراض القلبية الوعائية المختبرية صغيرة الحجم وخطوط طلاء أشباه الموصلات ذات الإنتاج الضخم. يمكن تصنيع جميع مواصفات الأخدود وسمك اللوحة وأعماق قنوات التدفق خصيصًا وفقًا لرسومات CAD لمعدات العميل.

لوحة أخدود دقيقة على شكل حرف V

ورقة الأخدود المسطحة

زوج عميق على شكل حرف V

▍ ميزات المنتج الرئيسية

1. هيكل الحز المخصص: يدعم تصنيع أنماط قنوات التدفق المختلفة، بما في ذلك قنوات التدفق المستطيلة الواسعة، وقنوات التدفق المسننة الدقيقة، والأخاديد شبه المنحرفة، والأخاديد المقسمة ذات الأعماق المتفاوتة. يمكن تعديل تباعد الأخدود والعمق والعرض بنسبة 100% لتلبية متطلبات عملية المعدات؛ يتم طحن جدران الأخدود كقطعة واحدة، وتكون ناعمة وخالية من النتوءات، مما يمنع غبار الجرافيت من تلويث غرفة التفريغ.

2. ركيزة عالية النقاء ومنخفضة الشوائب: تم ​​اختيار الجرافيت المتوازن عالي النقاء. تعمل عملية تنقية المواد الخام على إزالة الشوائب المعدنية مثل الحديد والسيليكون والكالسيوم، مما يضمن عدم إطلاق أي جسيمات في ظل ظروف درجات الحرارة العالية والقضاء على الثقوب وعيوب تغير اللون على الرقائق والطلاءات البصرية.

3. صفائح متجانسة عالية الكثافة: تصل الكثافة الإجمالية للألواح إلى 1.80-1.85 جم/سم مكعب، مع مسامية داخلية منخفضة للغاية، مما يمنع بشكل فعال غازات المعالجة المسببة للتآكل من اختراق الركيزة ويطيل عمر خدمة الألواح بشكل كبير.

4. التفاوتات المسموح بها في التصنيع باستخدام الحاسب الآلي الدقيقة: من خلال ورشة التشطيب CNC الداخلية لدينا، يتم التحكم في التفاوتات المسموح بها لأبعاد اللوحة وأحجام الفتحات في حدود ±0.02 مم. تتميز الألواح بالتسطيح العالي، مما يضمن توافقًا مثاليًا مع القاعدة داخل فرن CVD ويوفر توصيلًا موحدًا للحرارة دون اختلافات محلية في درجات الحرارة.

5. معالجة اختيارية للتصلب المضاد للأكسدة: بالنسبة لظروف الإنتاج المستمرة ذات درجات الحرارة العالية على المدى الطويل، يمكن تطبيق طبقة تشريب متخصصة مضادة للأكسدة، مما يحسن مقاومة الأكسدة بنسبة 40% في بيئة فراغ تبلغ 2000 درجة مئوية، وبالتالي تقليل وقت التوقف عن العمل والتكاليف المرتبطة باستبدال اللوحة بشكل متكرر.

منظر علوي للأخدود الكثيف

لوحة الأخدود الزاوية

لقطة مقربة لحافة V-Groove

▍ مزايا المنتج الرئيسية

1. يعمل التوزيع الموحد لتدفق الغاز على تحسين إنتاجية الطلاء. تعمل قنوات التدفق المتوازية الموجودة على سطح اللوحة على تشتيت غاز التفاعل في طبقات، مما يضمن سرعة تدفق الغاز المتسقة عبر سطح الرقاقة. وهذا يحافظ على انحرافات سمك ترسيب الفيلم ضمن ±2%، مما يؤدي إلى تحسين الإنتاجية بأكثر من 15% مقارنة بألواح الجرافيت المسطحة بدون قنوات، وبالتالي تقليل تكاليف الإنتاج للعملاء بشكل كبير.

2. تضمن مقاومة درجات الحرارة العالية ومقاومة الصدمات الحرارية أداءً مستقرًا في ظل ظروف الفراغ. إنه يتحمل درجات حرارة تصل إلى 3000 درجة مئوية في بيئة مفرغة ولا يتشقق أو يتشوه أو يتشوه أثناء دورات الحرارة المتكررة، مما يجعله مناسبًا لأنماط الإنتاج المتقطعة والمستمرة على مدار 24 ساعة في معدات CVD.

3. مقاومة عالية للتآكل الحمضي والقلوي. متوافق مع الغازات العملية المتنوعة. مقاومة للتآكل من الهيدروجين والأرجون والسيلان والهاليدات المختلفة. لن تتآكل أو تصبح مسحوقًا في البيئات الغازية المسببة للتآكل. مناسبة لمجموعة واسعة من عمليات الطلاء، بما في ذلك كربيد السيليكون، ونيتريد الغاليوم، وأفلام الأكسيد.

4. تصنيع مخصص واسع النطاق ليناسب جميع موديلات المعدات. لا توجد قيود على طول الورقة أو عرضها أو سمكها أو أنماط الفتحات. سواء بالنسبة للنماذج المختبرية الصغيرة، أو الأفران التجريبية، أو معدات ترسيب الأمراض القلبية الوعائية واسعة النطاق للإنتاج الضخم، يمكننا توفير ألواح جرافيت فردية مُصنعة خصيصًا مع فتحات مخصصة، مما يلغي حاجة العملاء إلى قبول الأجزاء القياسية العامة.

5. مجموعة كاملة من تقارير فحص جودة الشركة المصنعة الأصلية تضمن الامتثال للتصدير دون قلق. تأتي كل دفعة من ألواح الجرافيت المشقوقة مع تقارير اختبار فيزيائية وكيميائية من طرف ثالث، بما في ذلك بيانات عن الكثافة ومحتوى الرماد وقوة الانحناء ومعاملات التوصيل الكهربائي والحراري، مما يلبي معايير فحص الجودة والتدقيق لسلاسل التوريد الخاصة بمصنعي أشباه الموصلات في الخارج.

6. قدرة إنتاجية مستقرة. نحن نقبل الطلبات بجميع الأحجام. تبدأ طلبات العينات بقطعة واحدة فقط، في حين تبلغ طاقتنا الإنتاجية الشهرية للطلبات بالجملة 50000 وحدة. يتم تسليم ألواح الجرافيت المحززة ذات المواصفات القياسية في غضون 7 إلى 10 أيام، وتتم معالجة الألواح المحززة المعقدة ذات الشكل المخصص في غضون 12 إلى 15 يوم عمل.

لوحة طويلة ذات أخدود ضيق

لوحة أخدود فائقة الدقة

لوحة سميكة الأخدود واسعة

▍ مواصفات المنتج

فيما يلي المواصفات الفنية النموذجية؛ التخصيص متاح أيضًا بناءً على متطلبات العملاء.

المواصفات المخصصة للصفائح والأخاديد

1. أبعاد الورقة: الحد الأقصى للأبعاد القابلة للتشكيل هو 1200 × 800 مم (الطول × العرض)، بسمك 3-50 مم؛

2. أنواع الأخدود: أخاديد مستطيلة واسعة، وأخاديد ذات أسنان دقيقة، وأخاديد توجيه التدفق شبه منحرفة، وأخاديد مركبة مجزأة ذات أعماق متفاوتة؛

3. معلمات الأخدود: عرض الأخدود 0.5-20 مم، عمق الأخدود 1-15 مم، تباعد الأخدود حسب الطلب؛

4. أشكال الألواح: يمكن معالجة الألواح المستطيلة القياسية، والألواح ذات الزوايا المستديرة، وألواح الجرافيت ذات القواطع والأخاديد ذات الشكل المخصص.

▍ سيناريوهات تطبيق المنتج ومزاياها

• نظام ترسيب البخار الكيميائي (CVD).

يستخدم لنمو الأغشية الرقيقة وترسيب طبقة التخميل وطلاء أكسيد السيليكون / نيتريد السيليكون

المزايا: تعمل قنوات التدفق المنتظمة على موازنة تدفق الغاز، مما يؤدي إلى تحسين إنتاجية الرقاقة. ركائز فائقة النقاء                           تمنع   تلوث الرقائق.

• معدات الأمراض القلبية الوعائية للطلاء الفراغي للعدسات البصرية

مناسبة لطلاء الأغشية الرقيقة للزجاج البصري والعدسات وعدسات الأشعة تحت الحمراء

المزايا: تصميم أخدود ناعم وسطح يقلل من خطر خدوش العدسة؛ ويمنع الجرافيت عالي النقاء تسرب الشوائب التي قد تسبب ضبابية العدسة؛ يضمن الثبات الحراري في درجات الحرارة العالية انحرافًا لونيًا ثابتًا عبر الطلاء.

• فرن الأمراض القلبية الوعائية الفراغي للمختبرات الصغيرة الحجم للبحث

مصمم خصيصًا للبحث والتطوير في المواد الجديدة وتجربة الأغشية الرقيقة في الجامعات والمؤسسات البحثية

المزايا: يدعم التخصيص للأحجام الصغيرة والأخاديد الخاصة غير المنتظمة؛ يتيح النماذج الأولية السريعة للعينات المفردة؛ يسمح بتعديل مستويات نقاء الجرافيت لتلبية متطلبات البحث والتطوير.

فرن أنبوب الأمراض القلبية الوعائية

طلاء بصري الأمراض القلبية الوعائية

مفاعل الأمراض القلبية الوعائية المختبري

▍ التعبئة والتغليف والخدمات اللوجستية

1. الحماية الداخلية: مغلفة بالكامل بغلاف فقاعي فردي، مع حشوة إسفنجية ناعمة في المناطق المشقوقة لمنع الصدمات والخدوش والأضرار التي تلحق بجدران الفتحات والزوايا أثناء النقل؛

2. التغليف الخارجي: صندوق من الخشب الرقائقي السميك مع فواصل داخلية ثابتة وطلاء صفائحي مقاوم للرطوبة والماء، مناسب للتصدير عبر الشحن البحري والشحن الجوي؛

3. الدعم اللوجستي: يدعم الشحن البحري للحاويات الكاملة، والشحن الجوي للطرود الصغيرة، والشحن الدولي السريع (DHL/FedEx/UPS). تأتي الصناديق الخشبية مع علامات الشحن وقوائم التعبئة وتقارير اختبار المواد لتسهيل التخليص الجمركي؛

4. المزايا الوقائية: الجرافيت مادة هشة؛ التعبئة والتغليف المخصصة للتبطين تمنع الضرر أثناء النقل لمسافات طويلة، مما يقلل من خسائر التسليم في الخارج وتكاليف ما بعد البيع.

▍ الأسئلة الشائعة

• س 1: بالمقارنة مع ألواح الجرافيت المسطحة القياسية، ما هي المزايا الرئيسية لألواح الجرافيت المحززة في معدات CVD؟

  A1: يمكن أن تتسبب ألواح الجرافيت المسطحة القياسية في تراكم الغاز الموضعي داخل الفرن، مما يؤدي إلى سماكة طلاء غير متساوية على رقائق السيليكون. في المقابل، تستخدم ألواح الجرافيت المشقوقة قنوات سطحية لتوزيع غازات المعالجة بالتساوي، مما يضمن طلاءًا موحدًا عبر الركيزة بأكملها. بالإضافة إلى ذلك، فإن الهيكل المشقوق يزيد من مساحة تبديد الحرارة، مما يقلل من معدل الأكسدة الموضعية ذات درجة الحرارة العالية ويطيل عمر الخدمة بشكل فعال.

  
  

• Q2: هل يمكنك تخصيص أنماط الأخدود بناءً على رسومات CAD المقدمة من العملاء؟

  ج2: بالتأكيد. يمكن للعملاء تقديم رسومات المعدات، أو العينات، أو معلمات أبعاد الأخدود - أيًا منها سيكون كافيًا. سيقوم مهندسونا الفنيون بإعداد رسم تأكيد التصنيع، وسيبدأ الإنتاج فقط بعد التحقق. يمكننا تخصيص الأخاديد المركبة المعقدة والألواح ذات الأشكال غير المنتظمة.

  
  

• Q3: هل يمكن أن تخضع لوحة الجرافيت المحززة هذه لمعالجة مضادة للأكسدة؟ هل البلى مهم أثناء الإنتاج الضخم على المدى الطويل؟

  A3: يمكننا توفير معالجة طلاء التشريب المضادة للأكسدة ذات درجة الحرارة العالية الفراغية المتخصصة. بعد المعالجة، يتم تمديد عمر الخدمة للوحة الجرافيت المشقوقة بنسبة 40% تحت التشغيل المستمر عند 2000 درجة مئوية. بالمقارنة مع الجرافيت الصناعي العادي الموجود في السوق، فإن الركيزة عالية النقاء لدينا تتميز بمسامية أقل، مما يجعل من الصعب على الغازات اختراق الداخل، ويتم مضاعفة دورة الاستبدال في ظل ظروف الإنتاج الضخم العادية.

  
  

• س 4: كيف يكون أداء لوحة الجرافيت المشقوقة من حيث مقاومة التآكل؟ ما هي الغازات العملية المتوافقة معها؟

  A4: توفر المادة الأساسية نفسها مقاومة ممتازة للأحماض والقلويات والهاليدات. وهو متوافق مع السيلان والهيدروجين والأرجون والنيتروجين والعديد من مصادر طور البخار المعدني العضوي، مما يلبي متطلبات الغالبية العظمى من بيئات غاز معالجة الأمراض القلبية الوعائية في تطبيقات أشباه الموصلات والطلاء البصري.

  
  

• س5: هل ألواح الجرافيت ذات الشقوق عرضة للكسر أثناء الشحن، وكيف يتم التعامل مع العناصر التالفة؟

  ج5: جميع ألواح الجرافيت المشقوقة محمية بتغليف متعدد الطبقات يتكون من غلاف فقاعي فردي، وصناديق من الورق المقوى، وصناديق من الخشب الرقائقي، مع زوايا وحواف معززة. في حالة حدوث تلف أثناء الشحن، ما عليك سوى تقديم صور للتلف للحصول على بديل مجاني. يتم دعم الطلبات الخارجية من خلال خدمة ما بعد البيع الشاملة.